テクトロニクス、低電流、大きな負荷容量によるテスト課題に対応したケースレーの新製品SMUモジュールを発表

大きな負荷容量、不安定な低電流測定のアプリケーションに最適な、ケースレーの4200A-SCS型パラメータ・アナライザ用モジュール
 

 

報道発表資料

2019年10月31日

 

テクトロニクス(所在地: 東京都港区、代表取締役: Kent Chon)は、本日、ケースレーの4200A-SCS型パラメータ・アナライザ用の新製品SMU(ソース・メジャー・ユニット)モジュール2機種を発表しました。このモジュールは、長いケーブル、複雑なテスト・セットアップによる大きな負荷容量がある場合でも低電流測定を可能にします。このような問題に直面するアプリケーションとしては、LCDディスプレイ製造、チャック上のナノFETデバイス・テストが挙げられます。

 

新製品モジュールである4201-SMU型、4211-SMU型は、長いケーブル、スイッチ・マトリクス、チャック上のゲート・コンタクト、その他のフィクスチャによるテスト・セットアップに特化して設計されています。多くの低電流測定アプリケーションで求められるこのようなセットアップでは、DUT(被測定デバイス)自身の容量が非常に小さい場合でも、SMUの出力における容量は大きくなることがあります。試験接続容量が非常に大きくなると、結果としての低電流測定が不安定になる場合があります。

 

 

新製品のモジュールはこの問題を解決するために、長いケーブルや大きな接続容量の場合でも従来のSMUを使用して電圧を印加し、電流を測定することができます。これにより、研究者、製造試験エンジニアは、トラブルシュートとテスト・セットアップの再設定に要する時間とコストが節約できます。

 

テクトロニクス、ケースレー事業部、システム/ソフトウェア事業部長のピーター・グリフィス(Peter Griffiths)は、次のように述べています。「スマートフォンまたはタブレットで最終的に組み込まれる大型LCDパネルは、省エネルギーのために電流が小さくなっているため、テストでは、複雑なテスト設定によって生ずる大きな負荷容量が大きな問題になっています。新製品のモジュールは安定した低電流測定が可能であり、当社の既存のお客様、または将来のお客様にとって、ただちに大きなメリットとなります」

 

4201-SMU型と4211-SMU型は、サポートされる電流測定レンジにおいて、現状で可能な1,000倍以上の容量でのシステムへの印加、測定が可能です。例えば、電流レベルが1~100pAの場合、新製品のケースレーのモジュールは1μFの負荷容量の安定度があります。一方、競合製品では、測定安定度が低下する前の最大負荷容量はわずか1,000pF(1,000倍も低下)です。

 

4201-SMU型、4211-SMU型は、4200A-SCS型によるフル・パラメータ解析ソリューションとしてあらかじめ設定された状態での発注、または既存ユニットのフィールド・アップグレードとしての発注が可能です。アップグレードの場合は、計測器をサービス・センタに送り返す必要がなく、現地で簡単に行えますのでダウンタイムを大幅に短縮できます。

 

4200A-SCS型について

4200A-SCS型は、カスタマイズおよび統合が可能な半導体パラメータ・アナライザです。電流・電圧(I-V)、容量・電圧(C-V)、超速パルスI-Vを同期して評価可能であり、半導体、材料、プロセスの開発、製造のスピードを加速します。4200-SCS型は、最大で9台のSMUが設定できます。システムのClariusユーザ・インタフェースではタッチ&スワイプ操作またはポイント&クリック操作により、最新の半導体、材料、プロセスの特性評価のためのテストの定義、パラメータ解析、グラフ、自動化が設定できます。

 

テクトロニクスについて

米国オレゴン州ビーバートンに本社を置くテクトロニクスは、お客様の問題を解決し、詳細の理解を深め、新たな発見を可能にする、革新的で正確かつ操作性に優れたテスト/計測モニタリング・ソリューションを提供しています。テクトロニクスは70年にわたり電子計測の最前線に位置し続けています。
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