4200A-CVIV多开关使测试时间缩短30倍

把各种测量集成到器件特性分析中最困难的问题之一,是每种测量类型基本上都要求不同的线缆。选择与测量类型配套的线缆增强了测量完整性。但是,改变每种测量类型的电缆耗时很长,许多用户只能接受次优结果。此外,在重新连接电缆时,用户会面临电缆重连不正确的风险,进而导致错误,需要额外的调试时间。更糟糕的是,这些错误在很长时间内都可能注意不到。

 

针对这些开关测试的困扰,泰克围绕客户应用需求进行创新,其新型吉时利高速度、高完整性开关解决方案帮助客户轻松完成复杂测试。4200A-CVIV多通道开关在I-V测量和C-V测量之间自动切换,C-V测量可以移动到任何输出通道上,而不需重新布线。这种4通道开关允许用户在I-V和C-V测试期间保持相同的阻抗,可以把探针保留在晶圆测试站上。另外,用户不需要改变测试设置和电缆连接,从而增强测量的准确性。

 

双像素二极管特性分析应用

伯克利国家实验室检测器部门的科研人员正在开发更高效的硅检测器,用来监测空基应用中使用的各种放射信号,如X射线。其检测器是一种双像素二极管传感器。双像素二极管由两个PIN二极管组成,每个二极管的阳极相连。开发工作包括在工厂铸造晶圆。晶圆铸造工艺一般要求在晶圆制作的各个阶段及在晶圆完工时进行测试,以保证工艺完整性,确保原型器件满足设计规范。

 

典型的器件特性分析包括在高达100V和CV (电容-电压)的正向和逆向偏置条件下分析IV特性。由于器件是双二极管排列,因此每个器件要执行两次IV和CV测试,一对二极管中每个二极管测试一次。在使用老式测试配置和设备时,整个器件特性分析中每个器件需要长达10分钟才能完成IV和CV测试。

 

将老式IV/CV测试设备换上吉时利Model 4200A和最新CVIV多开关后,客户的测试时间明显缩短,因为不需要为每种测试类型手动重新配置测试,大大改善了数据采集和管理工作。

 

通过利用4200A-CVIV多开关来消除测试站重新配置,并在Clarius测试软件内部综合执行所有测试,总体测试时间从6分钟缩短到仅12秒。尽管这不是生产环境,但测试时间缩短到几秒仍令科研人员非常高兴,因为他们可以把重点放在研究上,更快地了解器件特点。

 

图1:4200A-CVIV多开关。

泰克高性能4200A-SCS 是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪,可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的 4200A-CVIV 多通道开关模块,可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换,而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS参数分析仪可大大加快客户的测试速度,广泛用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件。

 


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